特種氣體廠商-天津特種氣體-安徽譜純：

合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

1.材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。

2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短，拐彎少，特種氣體批發(fā)價(jià)格，布置緊湊合理，給人簡(jiǎn)單美觀的感覺(jué)。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，哪家特種氣體廠好，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。

特種氣體系統(tǒng)：常規(guī)供氣系統(tǒng)

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取MB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸胤N氣體供應(yīng)商，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，天津特種氣體，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。              

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